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電子工業超純水機水質試行標準

發表時間:2014-09-26 08:48:23

  電子工業超純水機水質試行標準。

  化學指標單位:μg/L

序號
水質項目
一級高純水指標
二級高純水指標
1
電阻率(25℃)MΩ·cm
≥15
≥10
2
電導率,μs/cm
0.05
0.1
3
PH值
6.8~7.2
6.6~7.4
4
細菌總數,個/mL
<3
<9
5
微粒(直徑>0.5μm,粒/mL)
<150
<300
6
二氧化硅
<10
<20
7
有機物(以COD計)
<0.3
<0.5
8
鈉 Na
<0.5
<2
9
鐵 Fe
<1
<2
10
銅 Cu
<0.5
<1
11
鈣 Ca
<1
<3
12
鎂 Mg
<0.2
<1
13
鋅 Zn
<0.5
<1
14
錳 Mn
<0.2
<0.5

  說明:①一級高純水適用于大規模集成電路,微波器件以及有相同要求到半導體器件產品。

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