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電子級超純水設備一般工藝流程概述

發表時間:2013-03-13 15:03:35

  超純水是指化學純度極高的水,其主要應用在生物、化學化工、冶金、宇航、電力等領域,但其對水質純度要求相當高,所以一般應用最普遍的還是電子行業。

  ●預處理-反滲透-水箱-陽床-陰床-混合床-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制混床-精密過濾器-用水對象

  ●預處理-一級反滲透-加藥機(PH調節)-中間水箱-第二級反滲透(正電荷反滲膜)-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象

  ●預處理-二級反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象

  ●預處理-二級反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制混床-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象

  超純水處理工藝應用場合

  · 半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路;

  · 超純材料和超純化學試劑;

  · 實驗室和中試車間

  · 汽車、家電表面拋光處理;

  · 其他高科技精密處理

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