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超純水機在電子工業中的設計及工藝流程

發表時間:2014-10-10 14:16:14

  工業超純水機采用反滲透加去離子方法,其流程為:源水箱→源水增壓泵→多介質過濾器→活性碳過濾器→陽樹脂軟化器→精密過濾器→一級RO反滲透純水系統→中間水箱→增壓泵→一級混床→二級精混床→微濾器→用水點

  工業超純水機采用去離子方法:源水箱→源水增壓泵→多介質過濾器→活性碳過濾器→陽樹脂軟化器→精密過濾器→陽床→陰床→混床→用水點

  工業超純水機采用反滲透加電去離子方法:源水箱→源水增壓泵→多介質過濾器→活性碳過濾器→陽樹脂軟化器→精密過濾器→一級RO反滲透純水系統→中間水箱→增壓泵→電去離子裝置(EDI)→微濾器→用水點

  設計方案

  1、第一級預處理系統。采用石英砂多介質過濾器,主要目的是去除源水中含有的泥沙、鐵銹、膠體物質、懸浮物等顆粒在20m以上對人體有害的物質,系統可以自動(手動)進行反沖洗,正沖洗等一系列操作。

  2、第二級預處理系統。采用果殼活性碳過濾器,目的是為了去除水中的色素、異味、生化有機物、降低水的余氯值及農藥污染和其他對人體有害的污染物。系統可以自動(手動)進行反沖洗,正沖洗等一系列操作。

  3、第三級預處理系統。采用陽樹脂對水進行軟化,主要是降低水的硬度,去除水中的鈣、鎂離子(形成水垢的主要成分),可有效延長反滲透膜的使用壽命,并可進行智能化樹脂再生。

  4、第四級預處理系統。采用5um孔徑精密過濾器,使水得到進一步的凈化,使水的濁度和色度達到優化。保證RO系統進水條件要求,保證設備的產水質量,延長設備的使用壽命。

  5、反滲透設備主機。采用反滲透技術進行深度脫鹽處理(進口美國反滲透膜)去除鈣、鎂、鉛、汞等對人體有害的重金屬物質及其他雜質,降低水的硬度,脫鹽率達99%以上,生產出符合國家標準的純凈水。

  6、去離子主機。通過一級反滲透處理過的水,進入純水箱,通過純水泵,將純水泵入到下一級混床,經一級混床出來的水質大都可低于1us/cm,如果對水質有更高的要求,則可用二級精混床進行處理,經二級混床處理后的水質電導可低于0.1us/cm,甚至至更高。

  7、微過濾裝置。安裝該裝置主要是為防止微粒樹脂顆粒從布水中濾出,造成二次水質污染,這主要是運用在對水質特別高的場合。

  8、殺菌系統。采用臭氧發生器(或紫外線殺菌器),減少細菌二次污染,滅菌率可達99%以上,同時臭氧溶于水形成富氧水,保證水的純鮮。采用水氣混合器使臭氧充分與水混合,達到標準濃度比。

  工業超純水機應用場合有半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路,超純材料和超純化學試劑,實驗室和中試車間,汽車、家電表面拋光處理以及其他高科技精微產品。

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